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题名:
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国外半导体电子束曝光离子注入技术动向 guo wai ban dao ti dian zi shu bao guang li zi zhu ru ji shu dong xiang / 上海科学技术情报研究所编 , |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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34页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学技术情报研究所 出版日期： 1972 |
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主题词:
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半导体技术 资料 外国 |
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中图分类法:
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TN3 版次： 3 |
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主要团体责任者:
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上海科学技术情报研究所 shang hai ke xue ji shu qing bao yan jiu suo 编 |
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索书号:
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TN3/1 |